MFD (1) 썸네일형 리스트형 MFD로 Mix-type Wafer Map Defect Pattern 분류하기 (논문 리뷰) 안녕하세요. 톡발이입니다. 그동안은 저희가 단일 유형의 결함 패턴에 대해서만 여러 가지 방법으로 분류를 해봤었는데요. 오늘 리뷰할 논문 " Mixed-Type Wafer Defect Pattern Recognition Framework Based on Multifaceted Dynamic Convolution "에서는 Convolution을 기반으로 해서 다양한 유형의 결함 패턴들이 섞여있는 mixed-type DPR (Defect Pattern Recognition) 대해서 분류하는 방법을 소개하고 있습니다. Introduction 제조 과정은 수백 개의 처리 단계를 거치기 때문에, wafer의 각 층에서 서로 다른 결함이 발생할 수 있습니다. 이러한 다양한 결함들이 함께 나타나면서 mixed-type.. 이전 1 다음
